Messmöglichkeiten

№    

Prüfparameter

Messmittel                                  

Messgenauigkeit            
 

Messumfang

1.

Lineare Abmessungen

TESA Micro Hite 3D
NewView 7200
Vickers Microscope
IMC-100х50А

3 µm
0,3 µm
0,1 µm
5 µm

400x490x390mm
2mm
1mm
25x25mm

2.

Winkelabmessungen

TESA Micro Hite 3D
Goniometer Г-5

3 µm/ 0,3m = 2 arc sec
1 arc sec

300mm
360º

3.

Formabweichung

TESA Micro Hite 3D

3 µm

400x490x390mm

4.

Rauheit

NewView 7200
MarSurf LD120

0,1 nm
2 nm

0,1 µm
0,1 mm

5.

Radius von Probegläser und sphärischen Komponenten

IZS-7
OWI 50 HP

0,04% - 0,07%
0,001 mm

10-1000mm
0- 200mm

6.

Formabweichung nach ISO 10110-5 (PV, RMSa, RMSi, RMSt, Power, Irregularity)

6.1.

Sphärische und Planoberflächen

µPhase FST 10
VeriFire Asphere
OWI 100
OWI 50 HP
OWI 50 Plano
MarSurf LD120

λ/20 (0,03 µm) ; 0,1N
λ/20 (0,03 µm) ; 0,1N
λ/10 (0,06 µm) ; 0,2N
λ/10 (0,06 µm) ; 0,2N
λ/10 (0,06 µm) ; 0,2N
0,1 µm

0 - 60mm
0 - 850mm
0 - 400mm
0 - 200mm
   -
30mm

6.2.

Asphäische Oberflaechen

VeriFire Asphere
MarSurf LD120

λ/20 (0,03 µm) ; 0,1N
0,1 µm

0 - 850mm
30mm

7.

Parameter von dem optischen Glas

7.1.

Refraktionsindex

PE Lambda 950

0,001

1,4 – 2,0

7.2.

Glasspannung

PKS-250

(Russia)

3 nm/c

0 – 300 nm/cm

8.

Parameters von optischen Geräten und Systemen

8.1.

MTF- Funktion

µPhase FST 10

0,01%

0 - 1000 lp/mm

8.2.

Wellenfrontabweichung

µPhase FST 10

λ/20 (0,03 µm) ; 0,1N

0 - 60mm

8.3.

Brennweite

µPhase FST 10

0,001mm

0 - 60mm

8.4.

Dioptrie

Dioptrometer LM-35

0,01 dpt

- 30 dpt …..+30 dpt

8.5.

Zentrierfehler von optischen Elementen und Baugruppen

Autocollimator

15 arc sec

0 – 2º

9.

Parameter von optischen Beschichtungen

9.2.

Transmission

PE Lambda 950
FTIR 8400S

0,01%
0,01%

0 - 100%
0 - 100%

9.3.

Reflexion

FTIR 8400S

0,01%

0 - 100%